4月24日,真空科技成果轉化(昆山)產業創新基地揭牌暨萊庫真空裝備總部項目簽約儀式舉行。
中國真空學會是我國真空科技領域最高學術團體,匯聚了全國90%以上的真空領域頂尖專家。此次掛牌的“真空科技成果轉化(昆山)產業創新基地”及“中國真空學會(昆山)服務站”,將通過學會的學術資源與昆山的產業優勢聯動,推動超導真空設備、半導體真空應用等關鍵技術轉化。
現場,萊庫真空裝備總部項目正式簽約。該項目由萊庫(蘇州)半導體科技有限公司投資建設,總投資超5億元,聚焦集成電路半導體裝備、顯示面板設備等四大核心領域。項目達產后預計年產值20億元,將為我國高端裝備國產化提供關鍵技術支撐。項目團隊由國務院特殊津貼專家教授團隊領銜,并引入美國應用材料公司前技術專家,自主研發的超高真空度、大尺寸腔體精密成型等技術達到國際先進水平,打破了國外壟斷。
近年來,昆山持續深化“產學研用”協同創新,此次真空科技成果轉化(昆山)產業創新基地揭牌與萊庫項目的落地,有助于進一步補強我市半導體、智能終端等產業鏈關鍵環節。活動期間,中國真空學會第十屆二次常務理事會擴大會議和2025年真空科技與產業發展交流“昆山行”活動舉行,與會專家學者作主題演講,與會人員還前往萊庫(蘇州)半導體科技有限公司等地參觀。